温度梯度的来源和影响。
俞允成和周围在观看学习的科研组员,都觉得打开了一扇新世界的大门,以前的很多相关经验,都可以在这个里面得到解释。
最后,高振东总结道:“径向温度梯度,原则上是要越均匀越好的,这就是刚才我说的要把坩埚转起来的部分原因。”
“而坩埚的升降,也是类似。径向温度梯度的影响刚才你们都看见了,要高一点,这样才能及时散掉单晶硅生长的结晶潜热,保持界面温度稳定。但是又不能太高,太高了可能产生多晶或者大量结构缺陷。”
见大家都明白这个原理,高振东才说出来增加坩埚升降系统的原因:“而增加温度梯度最简单的办法之一,就是增加坩埚的高度,换言之,调节纵向温度梯度最简单的手段,就是升降坩埚。当然.”
高振东话还没说完,俞允成已经学会抢答了:“还有就是,可以配合其他控制系统一起,调节炉温、改善结晶条件和环境、调整结晶状态?”
高振东笑着道:“对!”
这一番话下来,其实已经把单晶结晶的核心控制条件讲了个明明白白,在座的人,日后不说做个单晶炉吧,但是修个单晶炉可能还是有思路的。
至于俞允成这种本来就是大牛的人,更是获益良多。
(本章完)
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