很可惜,目前的海湾科技的光刻机套刻精度,还达不到这个程度。
就算能达到,也没啥实际用处。
因为成本太高了!
现在的四十五纳米工艺芯片,都已经算是落后制程芯片了,你还用多重曝光技术大幅度增加成本,得亏死你。
当然,这说的是正常市场环境下……如果是不正常的市场环境下,也是可以这么做的。
因此海湾科技那边,也对这方面的技术进行一定的研究,算是作为一个技术储备的研发吧,实际上没啥卵用!
毕竟哪怕爆发战争之类的极端事件,以海湾科技的技术能力,也能够维护进口的一大堆DUV浸润式光刻机的运行。
而智云微电子进口的DUV浸润式光刻机,那可是相当多。
目前已经投入使用,以及算上已经到货,正在安装调试的DUV浸润式光刻机,总量有六十三台。
对应的是智云微电子之前规划的月产十五万片十二寸晶圆的产能。
此外还有大量DUV浸润式光刻机的订单,因为智云微电子还在修建更多的晶圆厂,正在持续提升产能,ASML那边每年都要给智云微电子交付二三十台DUV浸润式光刻机呢。
至于最后智云微电子能有多少进口的DUV浸润式光刻机,一方面要看国外什么时候对智云进行制裁,另外一方面就要看海蓝科技的技术什么时候获得突破,自己搞出来DUV浸润式光刻机了。
而这些进口的DUV浸润式光刻机,海蓝科技也是具备对其进行基本维护的能力的,足以保障其运转。
因此,哪怕是极端情况下,智云微电子也用不着使用自家的DUV干式光刻机去生产四十五纳米的芯片。
没那必要。
参加了智云微电子的第二期工程投产仪式后,徐申学干脆飞到了智云微电子的通城总部,去视察了智云微电子的先进制程研发团队,看看研发进度如何。
目前智云微电子,正在攻坚22纳米工艺,该工艺已经是目前最顶级的工艺技术了,几乎逼近了当下DUV浸润式光刻机的物理极限,其研发难度是相当大的。
徐申学去看的时候,察觉到了研发团队的进度缓慢后,也是默默的调高了对工艺制程研发人员的科研系统名额的分配。
给他们套了个S级的科研名额。
目前徐申学手头上一共就只有两个S级的科研名头,之前只有一个的时候是芯片制造和半导体设备等
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